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真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。

一、真空泵出現(xiàn)高溫的原因：

風(fēng)扇轉(zhuǎn)速低，風(fēng)壓，風(fēng)量小。電機功率大，工作電流大，發(fā)熱量大。風(fēng)扇葉片數(shù)較少，產(chǎn)生的風(fēng)量小。真空泵電機所在母線電壓380V，由于電纜壓降及負(fù)荷分配不均，電機實際所加電壓只有365V，電壓偏低造成運行電流大。電動機附有灰塵、油污，降低了散熱能力。

解決方法：電機功率、轉(zhuǎn)速是和真空泵 相匹配的，不能更改。風(fēng)扇安裝于電機主軸上，電機轉(zhuǎn)速決定了風(fēng)扇轉(zhuǎn)速，也不可更換。增加風(fēng)扇葉片數(shù)量雖能起到一定作用，但葉片數(shù)量增加后，動平衡不容易找，如找正不好，會引起電機振動增加。將原風(fēng)扇罩加長40cm，在里面加裝一個與風(fēng)扇罩同直徑軸流風(fēng)機，軸流風(fēng)機電機功率850W，轉(zhuǎn)速1489r/min，電壓380V。原風(fēng)扇繼續(xù)保留。軸流風(fēng)機服裝學(xué)校另設(shè)一路電源控制，軸流風(fēng)機與主電機不設(shè)連鎖。真空泵啟動后及時啟動軸流風(fēng)機運行，真空泵停運后30min停運軸流風(fēng)機，以使主電機得到充分冷卻；定期清除電機上灰塵，保持電機散熱片清潔，增加其散熱能力；將真空泵所在母線電壓調(diào)整為400V。