發(fā)布時(shí)間： 2020-07-18 瀏覽量： 2640
本文對滑閥真空泵的性能作了進(jìn)一步研究，提出了活動(dòng)密封的新概念，研究了排氣速度、排氣流道大小和形狀對泵的性能的影響，闡明了滑閥泵噪聲機(jī)理研究中的又一個(gè)新噪聲源———導(dǎo)軌對滑閥桿的撞擊，分析了泵的噪聲傳播和屏蔽，討論了減少摩擦功的途徑。
經(jīng)多年實(shí)踐和研究，對滑閥真空泵的極限壓力、抽氣速率、消耗功率和噪聲等主要性能有了進(jìn)一步認(rèn)識(shí)，提出了一些新的看法和觀點(diǎn)，如排氣流道形狀和排氣速度、排氣閥彈簧的壓緊力和浮動(dòng)閥片、導(dǎo)軌對滑閥的撞擊、滑閥對泵內(nèi)壁的撞擊、高低真空缸的間隙分配、高低真空缸之間的通道、以及進(jìn)、排氣管道等對泵性能的影響。至于泵的振動(dòng)與平衡因篇幅較長，擬另撰文論述。
1、真空度
滑閥真空泵的真空度應(yīng)該首先是滿足用戶需要和保證穩(wěn)定運(yùn)行，通常用戶很少在極限壓力下使用，所以我們不應(yīng)該片面追求真空度。泵的真空度主要取決于各密封處的密封程度和泵油的質(zhì)量。
1.1、泵油的質(zhì)量
泵油的質(zhì)量包括泵油本身質(zhì)量和使用質(zhì)量，我國自從SH/T 0528- 1992《礦物油型真空泵油》標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布后，按該標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)的優(yōu)質(zhì)泵油的質(zhì)量，經(jīng)與國外同類泵油在雙級泵上做對比試驗(yàn)，用MKS 公司的薄膜真空計(jì)測得的真空度基本一致，說明我國優(yōu)質(zhì)泵油的質(zhì)量已達(dá)到國外同類泵油的水平。而一級品和合格品則稍差一些，主要表現(xiàn)在全壓上有一定差距，而分壓則無多大差別。在使用質(zhì)量上，據(jù)用戶反映，國產(chǎn)泵油抗乳化能力稍差，油水不易分離，所以在抽除含有水蒸氣的氣體時(shí)，泵一定要開氣鎮(zhèn)閥。
1.2、動(dòng)密封
通常指軸與油封之間的密封，首先是對軸上安裝油封處粗糙度的要求，要保證在0.4~0.8 μm，高速時(shí)取小值。軸與軸套的表面硬度要求達(dá)到HRC(55~58)，軸與油封唇口之間必須保持一定厚度
的潤滑油膜，它既起到潤滑作用，又起到密封作用，所以油的清潔度要求很高，最好不要用泵內(nèi)的工作油。偏心是造成油封異常磨損，破壞油封密封性的主要原因。偏心又可分為動(dòng)態(tài)偏心與靜態(tài)偏心兩種，動(dòng)態(tài)偏心，也就是軸的跳動(dòng)，是由于軸的振動(dòng)和軸承的徑向跳動(dòng)所引起的軸的偏心轉(zhuǎn)動(dòng)，一般不要大于0.15 mm。靜態(tài)偏心是由于油封座與軸之間的偏心或油封內(nèi)、外圓的偏心所致。兩種偏心導(dǎo)致一個(gè)結(jié)果，使油封唇口對軸表面的接觸壓力分布不均，導(dǎo)致軸和油封產(chǎn)生偏磨損，造成內(nèi)漏則影響真空度，造成外漏則向外漏油，所以應(yīng)將偏心導(dǎo)致限制在一定的范圍內(nèi)，一般要求總偏心不要超過0.3 mm。
1.3、活動(dòng)密封
活動(dòng)密封包括排氣閥、溢流閥的密封和泵腔內(nèi)各相關(guān)零部件之間的活動(dòng)間隙密封。
1.3.1、排氣閥、溢流閥的密封
排氣閥關(guān)閉的密封程度直接影響到油箱內(nèi)略高于大氣壓的氣體向泵腔內(nèi)返流的問題，如關(guān)閉不嚴(yán)會(huì)嚴(yán)重影響到泵的真空度。造成關(guān)閉不嚴(yán)的主要原因是閥片變形、碎裂、或者是閥片跳動(dòng)時(shí)導(dǎo)向不良造成閥片擱住。
排氣閥關(guān)閉不及時(shí)也會(huì)影響泵的真空度，例如為了減少高真空時(shí)的消耗功率和噪聲而采用壓緊閥與浮動(dòng)閥相結(jié)合的復(fù)合排氣閥時(shí)，單級泵一般不會(huì)出現(xiàn)問題，而使用在雙級泵上時(shí)，由于低真空腔與油箱內(nèi)的壓差相對較小，尤其是在轉(zhuǎn)速較高時(shí)，浮動(dòng)閥就會(huì)出現(xiàn)不能及時(shí)關(guān)閉的現(xiàn)象，從而影響泵的真空度。雙級泵高真空腔的溢流閥如采用浮動(dòng)閥，則由于兩邊壓差更小，問題會(huì)更突出。
排氣閥彈簧力在保證閥密封性的前提下，可取得小一些，如壓緊力過大，會(huì)增大消耗功率。過去一些仿制泵彈簧壓緊力達(dá)1.2×105 Pa，經(jīng)我們反復(fù)試驗(yàn)求證，認(rèn)定取1.02~1.1×105 Pa 較合適，不但減少了消耗功率，噪聲也下降了。
1.3.2、泵腔內(nèi)各零部件之間的間隙密封
泵腔各零部件之間的間隙尤以導(dǎo)軌與滑閥(桿)、導(dǎo)軌與泵體之間的間隙最為重要，通過這兩個(gè)間隙返流的氣體是以稍高于大氣壓的狀態(tài)返流到泵進(jìn)口的，所以對真空度的影響最大。采用分體導(dǎo)軌時(shí)氣體返流的影響更大，因?yàn)榉煮w導(dǎo)軌在泵排氣時(shí)，導(dǎo)軌與滑閥(桿)、導(dǎo)軌與泵體之間的兩個(gè)間隙集中反映到導(dǎo)軌與泵體之間的一個(gè)間隙上(如圖1 所示)。而整體導(dǎo)軌在泵排氣時(shí)仍保持兩個(gè)間隙，(如圖2 所示)。所以從提高泵的真空度和抽速的角度來說，以采用整體導(dǎo)軌為好。
實(shí)驗(yàn)證明也是如此，我們曾在150 L/s 的泵上做過整體導(dǎo)軌和分體導(dǎo)軌的對比試驗(yàn)，為了保證二者有同樣的間隙，分體導(dǎo)軌用整體導(dǎo)軌拆解而成。實(shí)測結(jié)果，分體導(dǎo)軌時(shí)泵的真空度要低一些，噪聲要高2 dB(A)左右(后面另作分析)。必須指出，分體導(dǎo)軌容易咬死，所以間隙要適當(dāng)放大。
滑閥真空泵性能再探
滑閥兩側(cè)面與泵蓋、中隔板之間的間隙對真空度的影響也很明顯。如間隙過大，特別是泵溫升高以后，油的粘度降低，密封性就差了，泵的真空度會(huì)下降。間隙小對真空度有利，但間隙過小，對油膜的形成造成困難，反而不利于真空度的提高，所以應(yīng)該按工作條件，如粉塵大小和多少、被抽氣體對泵油的影響以及泵的工作溫度等來選取合適的間隙。
偏心輪與滑閥(環(huán))內(nèi)圓之間的間隙對泵的真空度并無直接影響，但偏心輪特別是開式偏心輪與滑閥(環(huán))內(nèi)圓組成的空間在停泵破壞真空后充進(jìn)了空氣，在泵再次啟動(dòng)工作時(shí)，上述空間內(nèi)的空氣只能通過偏心輪與滑閥(環(huán))內(nèi)圓之間的間隙慢慢的被抽出，而泵油也是從這個(gè)間隙慢慢的進(jìn)入上述空間，這個(gè)置換過程可長達(dá)數(shù)小時(shí)，影響了泵的真空度上升速度，所以在偏心輪與滑閥(環(huán))內(nèi)圓之間的間隙處必須開導(dǎo)油槽，以利于油和氣的交換。
滑閥(環(huán))外圓與泵缸內(nèi)壁之間的間隙，決定了吸氣腔與壓縮腔之間的密封程度。間隙過大，密封油膜容易被擊穿，間隙過小，油膜不易形成，都將影響真空度。但上述間隙不是單獨(dú)存在的，它還受到偏心輪與滑閥(環(huán))內(nèi)圓之間的間隙的制約，這兩個(gè)間隙形成的總間隙必須保證滑閥(環(huán))外圓不會(huì)與泵缸內(nèi)壁產(chǎn)生撞擊。
2、真空度
滑閥真空泵的幾何抽速(理論抽速)按JB/T 1246- 2007《真空技術(shù)-滑閥真空泵》標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，應(yīng)為名義抽速的1~1.2 倍，幾何抽速乘以抽氣效率就是實(shí)際抽速。抽氣效率與泵各零部件之間的間隙有非常密切的關(guān)系，在充分考慮被抽氣體的成分、工作溫度、和粉塵等條件下，適當(dāng)減小間隙，有利于抽氣效率的提高。其他如排氣速度，抽、排氣管道、泵油質(zhì)量等也都會(huì)影響抽氣效率。泵腔各相對活動(dòng)的零部件之間的間隙對泵的抽速有顯著影響，如“滑閥真空泵性能再探——極限真空度”一文所述，凡有利于真空度提高的，也都有利于抽速的提高。
2.1、間隙
需要特別指出，一般認(rèn)為雙級泵高真空缸的真空度高，所以間隙應(yīng)取得小一些。其實(shí)并非如此，正是因?yàn)楦哒婵崭椎恼婵斩雀撸瑲怏w分子自由程較大，在同樣間隙下，氣體分子不容易穿透間隙，而在低真空缸，由于氣體分子自由程較小，氣體比較容易穿透間隙。所以低真空缸的間隙必須嚴(yán)格控制，反而高真空缸的間隙倒是可以適當(dāng)放寬。我們曾在15 L/s 雙級泵上做過對比試驗(yàn)，證實(shí)這個(gè)觀點(diǎn)是正確的，對提高抽氣效率有益。我們曾檢測過E2M40 泵(名義抽速11.8 L/s)高真空缸的側(cè)面間隙為0.095mm， 低真空缸的側(cè)面間隙為0.06 mm;D-650K 泵(名義抽速10.67 L/s)高真空缸的側(cè)面間隙為0.07~0.08 mm，低真空缸的側(cè)面間隙為0.05 mm。
2.2、排氣速度
排氣速度要適當(dāng)，一般不超過30 m/s，過高的排氣速度將促使被壓縮的氣體從壓縮腔向吸氣腔返流，不但會(huì)影響泵的真空度，更會(huì)導(dǎo)致抽氣速率的下降。對于雙級滑閥泵來說，高真空缸與低真空缸之間的通道面積也極為重要，如通道面積過小，將使氣體流速加快，造成低真空缸來不及完全吸收從高真空缸排出的氣體，產(chǎn)生氣體返流，會(huì)嚴(yán)重影響高真空缸的抽速。由于在設(shè)計(jì)中已預(yù)先考慮了這種可能性，所以我們的雙級滑閥泵中沒有出現(xiàn)過上述現(xiàn)象。但在兄弟單位委托我們檢測的2XZ-2 和2XZ-4 雙級旋片泵中就出現(xiàn)過上述現(xiàn)象，由于2XZ-2 和2XZ-4 泵的大部分零部件是通用的，只是泵缸的長度不同，高真空缸和低真空缸之間的通道面積是相同的，所以對2 L/s 泵而言是足足有余的，而對4 L/s泵來說則就不夠了。檢測發(fā)現(xiàn)在1.5 kPa 時(shí)，2 L/s泵的抽氣效率達(dá)到85%，而4 L/s 泵只有77%，達(dá)不到行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的要求，經(jīng)我們建議，擴(kuò)大了4 L/s泵的通道面積，復(fù)測4 L/s泵在1.5 kPa 時(shí)的抽氣效率達(dá)到85%以上。
2.3、泵油的質(zhì)量
泵油的質(zhì)量對高真空區(qū)間的抽速有一定的影響，尤其是全壓抽速。質(zhì)量差的泵油在高真空區(qū)間揮發(fā)出的油蒸汽較多，在被抽氣體中占有一定的比例，而優(yōu)質(zhì)泵油的飽和蒸汽壓低，在高真空區(qū)間揮發(fā)出的油蒸汽很少，所以實(shí)際抽出的氣體多，抽氣效率就高了。
3、消耗功率
滑閥真空泵的功耗主要是壓縮功、摩擦功、機(jī)械撞擊和液壓撞擊損失等。
3.1、壓縮功
壓縮功是不可避免的，也是不可能人為減少的，它只隨入口壓力的變化而變化。減少無用壓縮功只能考慮減少和消除漏氣所造成的損失。氣鎮(zhèn)所消耗的功率也是壓縮功，它取決于氣鎮(zhèn)量的大小。而氣鎮(zhèn)量又取決于被抽氣體中可凝蒸氣量的多少。所以應(yīng)該按被抽氣體中可凝蒸氣量來調(diào)節(jié)氣鎮(zhèn)量，這樣既能完全抽除掉可凝蒸氣，又能恰到好處的控制壓縮功的損耗。
3.2、摩擦功
通常摩擦功約占總功率的20%~25%左右，尤其在低壓和極限壓力時(shí)，泵消耗的功率主要就是摩擦功，所以應(yīng)盡量減少摩擦功的損耗。
3.2.1、機(jī)械摩擦損失
機(jī)械摩擦損失包含了所有轉(zhuǎn)動(dòng)零部件與靜止零部件、轉(zhuǎn)動(dòng)零部件與轉(zhuǎn)動(dòng)零部件之間的摩擦損失，為了減少摩擦損失，可以適當(dāng)放寬間隙，在提高零部件耐磨性的基礎(chǔ)上減少摩擦接觸面積。例如，減少滑閥(桿)進(jìn)氣側(cè)與導(dǎo)軌的接觸面積，減少滑閥(環(huán))內(nèi)圓與偏心輪外圓的接觸面，在偏心輪兩側(cè)加擋圈，防止偏心輪兩側(cè)面與泵蓋和中隔板發(fā)生摩擦等。減少零部件的質(zhì)量，例如減小滑閥的
質(zhì)量，對降低滑閥(桿)與導(dǎo)軌、滑閥(環(huán))與偏心輪、導(dǎo)軌與泵體小缸之間的摩擦，也是有益的。
3.2.2、軸承摩擦損失
軸承摩擦損失也屬于機(jī)械摩擦損失，但有其特殊性。首先，要采用正規(guī)的軸承產(chǎn)品，謹(jǐn)防冒牌產(chǎn)品，以免產(chǎn)生不必要的摩擦損失。軸承的潤滑是非常重要的一環(huán)，少油或缺油都將導(dǎo)致不必要的磨擦損失和軸承的損壞，因此應(yīng)盡可能采用單獨(dú)供油或潤滑脂。
軸承內(nèi)、外圈與相關(guān)零部件的配合過盈量要適當(dāng)，如過大將導(dǎo)致軸承內(nèi)、外圈滾道變形，產(chǎn)生過度擠壓、發(fā)熱和噪聲，使摩擦損失劇增。滑閥泵軸大都屬于細(xì)長軸，容易造成剛度不足，或者是兩軸承安裝中心線與泵軸中心線發(fā)生傾斜，都將使軸承內(nèi)、外圈軸心線發(fā)生傾斜，對那些非調(diào)心軸承來說，都會(huì)產(chǎn)生額外的摩擦損失和噪聲，所以對那些負(fù)荷較小的軸承，可以使用調(diào)心軸承或允許角度差稍大的軸承。此外，一些轉(zhuǎn)動(dòng)零部件，如軸、滑閥、偏心輪、皮帶輪和平衡輪的質(zhì)量都作用在軸承上，因此減少他們的質(zhì)量，就直接減少了軸承的摩擦功。皮帶的拉力也作用在軸承上，所以皮帶的張緊力要適當(dāng)。
3.2.3、液體的摩擦損失
真空泵油在泵中起了密封、潤滑、冷卻和頂開排氣閥的作用，所以泵油參與了壓縮和摩擦，又減少了各零部件之間的摩擦。對于沒有設(shè)置油泵的滑閥泵，只要滑閥與泵蓋、中隔板之間的間隙適當(dāng)，泵的進(jìn)油量會(huì)自動(dòng)調(diào)節(jié)。但如配有油泵，則油泵的流量必須經(jīng)過仔細(xì)計(jì)算，通常為(7~10)×10-4S(S 為泵的抽速L/s)，如油量過大，進(jìn)入泵后將使真空泵變成油泵，不但壓縮功增加，而且摩擦損失急劇增加。
泵油的運(yùn)動(dòng)粘度隨溫度的變化很大，如某廠的V100 油，40℃時(shí)粘度為104.62 mm2/s，100℃時(shí)粘度為11.63 mm2/s。所以在保證工作真空度的條件下，適當(dāng)?shù)奶岣弑脺?，對降低消耗功率是大有益處的，我們通過實(shí)驗(yàn)證明，把泵溫從50℃提高到70℃，消耗功率可降低7%，而且更有利于可凝性蒸氣的抽除，同時(shí)也減少了冷卻水消耗量。真空泵油一般在- 12℃ 就會(huì)凝固，故北方有些單位將泵置于室外工作是不可取的。這樣不但不利于泵的啟動(dòng)，而且泵在啟動(dòng)后的短時(shí)間內(nèi)，某些部位處于缺油或少油的狀態(tài)，容易造成泵的損壞。
3.3、管路及其它
對用戶而言，抽氣管道的口徑要與泵口直徑相同，長度要盡量短，過多的彎頭，過長的管道不僅會(huì)影響抽速也會(huì)影響功耗。排氣管道也如此，排氣管是用戶最容易忽視的，過長的管道將增大排氣阻力，導(dǎo)致氣體返流增加而影響抽速，更會(huì)使消耗功率增加。
我們研制的滑閥泵油霧消除器，接在泵的排氣口，可以達(dá)到氣體室內(nèi)排放的要求。當(dāng)然油霧消除器必然會(huì)損耗一部分功率，經(jīng)我們精心設(shè)計(jì)，反復(fù)改進(jìn)，不但排氣阻力小，而且效果很好，功率的增加也并不明顯，要注意的是油霧消除器的芯必須根據(jù)使用情況定期更換。
4、噪聲
滑閥真空泵的噪聲主要由撞擊產(chǎn)生，包括油液對滑閥和泵腔壁的撞擊、排氣閥片與閥座(或泵體)的撞擊、滑閥(環(huán))與泵腔壁的撞擊。滑閥(桿) 與導(dǎo)軌的撞擊是近期發(fā)現(xiàn)的又一新的噪聲源，是我們最新的研究成果。噪聲的大小不但與泵的轉(zhuǎn)速有關(guān)，也與聲的傳導(dǎo)有關(guān)。
4.1、油液的撞擊
油液的撞擊有兩種情況，首先是進(jìn)入泵腔中的油液在滑閥的帶動(dòng)下，高速?zèng)_向排氣口與泵腔壁和排氣流道產(chǎn)生撞擊;在排氣結(jié)束，排氣閥關(guān)閉的瞬間，壓縮腔一下變成了真空腔，排氣口處的油液高速返回真空腔，與滑閥和流道發(fā)生撞擊。這兩種由油液撞擊產(chǎn)生的噪聲大小與泵的真空度、轉(zhuǎn)速、進(jìn)油量、流道形狀和排氣速度有關(guān)。
泵的真空度高、轉(zhuǎn)速高、進(jìn)油量多、流道阻力大、排氣速度高，噪聲就大。適當(dāng)控制進(jìn)油量、改善排氣流道形狀、降低排氣速度，可使噪聲明顯降低。我們綜合研究了上述這些因素，改進(jìn)設(shè)計(jì)的某泵取得了噪聲降低(8~10)dB(A)的顯著效果。
4.2、排氣閥的撞擊
排氣閥在排氣結(jié)束時(shí)要迅速關(guān)閉，否則會(huì)增加氣體的返流而影響真空度和抽速，所以排氣閥在關(guān)閉時(shí)閥片與閥座(或泵體)會(huì)產(chǎn)生撞擊噪聲、而且與轉(zhuǎn)速有關(guān)。為了驗(yàn)證該噪聲，我們曾用羊毛氈作閥片，減小了撞擊，噪聲明顯降低。當(dāng)然羊毛氈是不能作閥片長期使用的，它經(jīng)數(shù)小時(shí)撞擊后，質(zhì)地逐漸變結(jié)實(shí)，噪聲也逐漸響起來。
4.3、滑閥與泵腔壁的撞擊
泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，隨著偏心輪的旋轉(zhuǎn)，滑閥(環(huán))沿著泵腔壁滾動(dòng)，經(jīng)過排氣口到泵缸與導(dǎo)軌孔的交接處后，泵缸有一缺口，這時(shí)滑閥(環(huán))每一轉(zhuǎn)有0.01 s 左右的時(shí)間脫離泵腔壁，隨著偏心輪繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，滑閥(環(huán))又重新與進(jìn)口處泵腔壁接觸，由于速度快，產(chǎn)生的機(jī)械撞擊會(huì)比較嚴(yán)重，通常噪聲會(huì)增加(5~7)dB(A)，拆檢可發(fā)現(xiàn)滑閥(環(huán))上靠近滑閥(桿)進(jìn)氣口處有一條明顯的撞擊痕跡。為了消除這個(gè)噪聲，必須嚴(yán)格控制滑閥(環(huán))與泵腔壁之間的間隙，使之保持在一微小的范圍內(nèi)。上述間隙又和偏心輪與滑閥(環(huán)) 內(nèi)圓的間隙有牽連，也必須相應(yīng)控制。
4.4、滑閥與導(dǎo)軌的撞擊
滑閥(桿)與導(dǎo)軌的撞擊噪聲長期以來之所以一直沒有被發(fā)現(xiàn)，一是相對而言它的噪聲比較低，而更主要的是很難從泵的總噪聲中分離出來，因此容易疏忽掉。我們是從整體導(dǎo)軌和分體導(dǎo)軌在同一臺(tái)滑閥泵上的噪聲對比試驗(yàn)中發(fā)現(xiàn)的，滑閥(桿)與導(dǎo)軌的撞擊噪聲的確存在，而且分體導(dǎo)軌比整體導(dǎo)軌高(2~3)dB(A)。分析其原因，我們認(rèn)為在每一轉(zhuǎn)中，分體導(dǎo)軌與滑閥(桿)的撞擊有兩次，而且由于二者之間的間隙稍大，所以撞擊噪聲較大，而整體導(dǎo)軌在每一轉(zhuǎn)中的撞擊只有一次，而且二者之間的間隙要小一些，撞擊噪聲也要小一些。上述噪聲是客觀存在的，不可能消除，但可以通過間隙的控制來減少一些。
4.5、噪聲的傳導(dǎo)和屏蔽
無論是泵油的撞擊，還是機(jī)械撞擊，所產(chǎn)生的噪聲都與泵的轉(zhuǎn)速有關(guān)，隨著泵轉(zhuǎn)速向高速發(fā)展的趨勢，這個(gè)問題更加突出。因此，如何從聲傳導(dǎo)和屏蔽方面著手來降低噪聲很有必要。
油箱是聲傳導(dǎo)的主要環(huán)節(jié)，鑄鐵油箱與鋼板油箱相比較，噪聲可降低(2~3)dB(A)。主要是因?yàn)殍T鐵的組織相比鋼板而言稍疏松一些，所以有一定的吸聲作用，而且鑄鐵油箱與鋼板油箱相比較厚，隔聲作用也好一些，如在油箱內(nèi)壁噴涂一層薄膜，效果會(huì)更好。油箱內(nèi)表面結(jié)構(gòu)形狀要設(shè)計(jì)成不對稱，以免產(chǎn)生共鳴聲。
排氣閥罩和油氣分離器連在一起，既有隔聲作用，又有消聲作用。如果將排氣閥罩拆掉，泵的噪聲會(huì)高得多。油氣分離器如設(shè)計(jì)得當(dāng)，也會(huì)有一定的消聲效果，如我們設(shè)計(jì)的“二次旋風(fēng)式油氣分離器”，噪聲在傳導(dǎo)過程中通過油氣分離器有兩次碰撞，造成一定的聲能損失，有利于消聲。
4.6、氣蝕噪聲
氣蝕在滑閥泵上是客觀存在的，有氣蝕就有噪聲，只是由于一般滑閥泵的轉(zhuǎn)速較低，氣蝕沒有達(dá)到足以破壞零件的程度，所以沒有被人們發(fā)現(xiàn)。我們曾經(jīng)在轉(zhuǎn)速高達(dá)920r/min 的H150AB泵的試制中發(fā)現(xiàn)噪聲頻率和聲級都很高的異常噪聲，聲功率高達(dá)100dB(A)，拆檢后才發(fā)現(xiàn)滑閥(環(huán))上靠近排氣口處出現(xiàn)了許多淺淺的針孔，把它去除后再運(yùn)轉(zhuǎn)數(shù)小時(shí)，又出現(xiàn)上述現(xiàn)象，以后又經(jīng)多次試驗(yàn)證實(shí)，我們確認(rèn)這就是氣蝕。只是運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間較短，氣蝕破壞現(xiàn)象僅僅出現(xiàn)在表面。
5、其他
有一些廠商把H- 150滑閥泵的電機(jī)簡單由15kW 改為7.5kW，看似節(jié)能，其實(shí)是很危險(xiǎn)的。如沒有經(jīng)過科學(xué)的改進(jìn)試驗(yàn)，就將電機(jī)功率減小會(huì)產(chǎn)生不良后果。就以H150型滑閥泵來說，室溫6℃時(shí)，瞬時(shí)啟動(dòng)功率高達(dá)36.5kW，如改用7.5kW 電機(jī)，冬天泵就無法啟動(dòng)。而且7.5kW 時(shí)，泵也只能工作在8×102 Pa以下，超過此壓力，電機(jī)就要超載，長時(shí)間必然要損壞電機(jī)。
6、結(jié)論
作為傳統(tǒng)的低真空獲得設(shè)備，滑閥真空泵具有相當(dāng)大的市場份額和較高的產(chǎn)品成熟度，但在抽氣效率、能耗、振動(dòng)噪音以及輕量化設(shè)計(jì)等方面還有挖掘的潛力，通過廣大科技人員的努力，用科學(xué)的研究方法去改進(jìn)，提高該系列產(chǎn)品的性價(jià)比，將使之具有更好的市場前景，為國民經(jīng)濟(jì)建設(shè)創(chuàng)造更好的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。
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