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真空測量是真空技術(shù)中的一個重要組成部分。用于測量真空度的儀器稱為真空計。  真空熱處理爐及真空熔煉爐常用的真空計有：熱偶真空計電離真空計等。它們的工作原理如下：

（一）熱偶真空計

熱偶真空計由敏感元件、熱偶規(guī)管和測量儀器組成。熱偶規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相通，外殼為玻璃管，管內(nèi)有加熱絲和熱偶絲。熱偶絲的冷端和熱端溫度不同時，由于溫差效應(yīng)，在回路中有熱電勢產(chǎn)生。如加熱絲電壓保持恒定，則熱偶絲的電勢限決于加熱絲的溫度，而加熱絲的溫度與被測氣體的壓強(qiáng)有關(guān)。壓強(qiáng)低，氣體熱導(dǎo)率小，被氣體帶走的熱量少，加熱絲溫度升高，熱偶絲的熱電勢增大；反之，則熱電勢減少?；芈分械臒犭妱萦煤练頊y量，表中的毫伏數(shù)即反映出真空度的高低。為了保證加熱絲的電壓穩(wěn)定，而接入了穩(wěn)壓電源。所以測量儀器是由測量熱電勢的毫伏表和規(guī)管加熱絲穩(wěn)壓電 源兩部分組成。

（二）電離真空計

這種真空計主要用于測量高真空度。在低壓強(qiáng)氣體中，氣體分子被電離生成的正離子數(shù)與氣體壓強(qiáng)成正比按照離產(chǎn)生的方法不同，利用熱陰極發(fā)射電子使氣體電離的真空計叫熱陰極電離真空計；其中，熱陰極電離真空計由熱陰極規(guī)管和測量儀器組成。測量儀器由規(guī)管工作電源、發(fā)射電流穩(wěn)壓器、離子流測量放大器等部分組成。熱陰極電離規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相通。熱陰極電離規(guī)管是一個三極管，管內(nèi)有陰極、柵及和收集極。收集極電位相對于陰極電負(fù)電位；柵極相對于陰極電正電位。當(dāng)電離規(guī)管通電加熱后，陰極發(fā)射電子，在電子到達(dá)柵極的過程中，與氣體分子碰撞而產(chǎn)生正離子和電子的電離現(xiàn)象。當(dāng)發(fā)射電流一定時，正離子數(shù)日與被測氣體壓強(qiáng)成正比。正離子被收集極收集后，經(jīng)測量電路放大，可由批示電表讀出所要測量的真空度。

（三）復(fù)合真空計

通常，對低真空和高真空的測量不能用一種真空計來完成，而應(yīng)采用復(fù)合真空計，應(yīng)用較多的是電離與熱偶式復(fù)合真空計。它的測量范圍為13.33--666.6×10-8Pa。熱偶真空計測量（10-1--10-3)×133.32Pa的低真空；電離真空計測量133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。復(fù)合真空計附有一個熱偶規(guī)管、一個電離規(guī)管，分別接在真空系統(tǒng)上，通過旋鈕可分別給兩個規(guī)管加熱，并選擇使用。