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余擺線型轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)作行星運動，使工作室容積周期性變化以實現(xiàn)抽氣。在泵腔內(nèi)各運動件表面間用油膜密封，所以余擺線真空泵時一種油封式機械真空泵。它主要由泵體和轉(zhuǎn)子構(gòu)成。轉(zhuǎn)子的型線為余擺線，泵腔型線為轉(zhuǎn)子型線的外包絡(luò)線。轉(zhuǎn)子上的內(nèi)齒輪與固定在泵蓋上的小齒輪嚙合。

當轉(zhuǎn)動軸旋轉(zhuǎn)時，偏心輪即帶動內(nèi)齒輪繞小齒輪作行星運動，泵體點永遠與轉(zhuǎn)子表面接觸，將泵腔分隔為A和B室。轉(zhuǎn)自逆時針方向旋轉(zhuǎn)，A室內(nèi)壓力逐漸降低，氣體從吸氣口不斷被吸入，同時B室內(nèi)的氣體逐漸被壓縮，通過排氣閥排出泵外。

從結(jié)構(gòu)原理和使用性能來看，余擺線泵與同類型泵相比有很多優(yōu)點：

1、運轉(zhuǎn)平穩(wěn)、振動小、尺寸小、抽速大；

2、在低壓范圍內(nèi)（1-100pa)其抽速野性曲線由于滑閥泵；

3、對被抽氣體中含有一定量的粉塵及小顆粒等不太敏感；

4、適應(yīng)較高溫度的工作環(huán)境，可通過溫控裝置使泵腔保持較高溫度，以抽除大量的可凝性水蒸汽。

由于余擺線泵在1-10pa壓力范圍內(nèi)仍具有很大的抽速，因此該泵適用于真空行業(yè)中的大排氣量裝置。目前已在真空冶金、真空熱處理、真空干燥等行業(yè)中得到應(yīng)用。