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隨著社會(huì)科技的發(fā)展，越來越多的行業(yè)，對(duì)清潔真空、環(huán)保等的需求嚴(yán)格，要求避免返油漏油的污染，因此無油真空泵得到了快速地發(fā)展。因?yàn)槠鸩捷^晚，很多企業(yè)用戶對(duì)無油真空泵的印象僅僅停留在爪式真空泵、螺桿真空泵少數(shù)幾類上。而事實(shí)上，無油真空泵涉及的種類可不止這些。

說起無油真空泵，首先提到的便是爪式真空泵。它是針對(duì)電子半導(dǎo)體工業(yè)而研制開發(fā)的干式真空泵，適應(yīng)清潔真空需求，并且具有自行開閉的閥門效果，具備較高的效率。

其次就是螺桿真空泵。螺桿真空泵與爪式真空泵一樣都是非接觸式的無油真空泵，泵腔內(nèi)不含油、水等物質(zhì)，同時(shí)轉(zhuǎn)子間存在間隙，因此對(duì)顆粒物、可凝性氣體具有一定的耐受性。同時(shí)對(duì)比爪式真空泵，因?yàn)椴痪邆漕愃崎y門的結(jié)構(gòu)，效率上有所欠缺，但其氣道通順、轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，適應(yīng)性更好，因此兩者相比各有優(yōu)勢(shì)。

渦旋式真空泵的研制生產(chǎn)主要集中與美國、日本以及英國，因此國內(nèi)很多企業(yè)都不了解這種無油真空泵。它抽速較小，較多地應(yīng)用與分析儀器、半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線、科研設(shè)備中，以及作為分子泵與小型低溫泵的前級(jí)泵出現(xiàn)。

羅茨真空泵。羅茨真空泵種類較多，分濕式、干式以及直排大氣型、普通型、多級(jí)羅茨等等，因此造成了一些用戶對(duì)它的誤解。應(yīng)用于中高真空的機(jī)械增壓泵以及多級(jí)羅茨泵其實(shí)都是無油真空泵，且抽氣量大，應(yīng)用廣泛。

無油旋片真空泵與無油活塞真空泵（往復(fù)泵）。雖然常見旋片真空泵與活塞真空泵，在泵腔內(nèi)都是有油介質(zhì)參與的，但它們也可以通過采用自潤滑材料實(shí)現(xiàn)無油運(yùn)作，成為無油真空泵。另外往復(fù)泵里的隔膜真空泵，也有無油型的。

渦輪分子泵。它是一種原應(yīng)用于超高真空的無油真空泵，隨著向高出口壓力、高流量方向發(fā)展，應(yīng)用范圍逐漸向中高真空領(lǐng)域發(fā)展。

以上幾種就是目前常見的幾大無油真空泵種類。此外還有低溫泵、吸附泵等可以實(shí)現(xiàn)清潔無油真空環(huán)境的氣體捕集泵，但通常不會(huì)把它們歸入到無油真空泵里去，所以在此也不再作列舉了。