發(fā)布時間: 2020-07-17 瀏覽量: 2220
1、真空度
干式螺桿真空泵、爪式真空泵、無油渦旋真空泵極限真空度都很高,最高極限真空均可達到1-2Pa,珂勒曦的干式螺桿真空泵極限真空已突破0.1Pa;無油往復(fù)真空泵為粗真空設(shè)備,極限真空度低,需要搭配羅茨等其他真空泵提高極限真空。
2、抽氣量
無油渦旋真空泵由于內(nèi)部結(jié)構(gòu)問題,抽氣量較小,只適用于小抽氣量的工藝中;干式螺桿真空泵型號齊全,可適用大抽氣量工藝中,配合羅茨真空泵可以滿足不同客戶的需求。
3、穩(wěn)定性
干式螺桿真空泵性能穩(wěn)定,噪音低,故障率低;無油往復(fù)真空泵結(jié)構(gòu)簡單,噪音較高,需要經(jīng)常更換滑片。爪式真空泵由于裝配復(fù)雜,轉(zhuǎn)子與軸不為一體,出現(xiàn)故障需全部重新拆解裝配,反復(fù)裝配從而降低產(chǎn)品性能及穩(wěn)定性。
4、特殊工況處理
由于化工、制藥、半導(dǎo)體行業(yè)等相關(guān)工藝氣中會不同程度含有易燃、易爆以及腐蝕性氣體,所以干式真空泵需要特殊處理。干式螺桿真空泵內(nèi)部結(jié)構(gòu)簡單,兩根轉(zhuǎn)子、泵腔均可做防腐處理,常見的有鎳磷涂層和特氟龍涂層,珂勒曦干式螺桿真空泵采用則是特殊的多層鍍鎳和納米材料鍍層,有效防止鹽酸等高腐蝕性介質(zhì)對設(shè)備的侵蝕。爪式真空泵很難做防腐處理,各級隔板之間幾乎無法做表面處理,轉(zhuǎn)子表面的防腐涂層也容易在裝配時損傷。無油渦旋真空泵只適合抽潔凈的氣體,不能抽取易燃、易爆及具有腐蝕性的氣體。
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