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1、真空度

干式螺桿真空泵、爪式真空泵、無油渦旋真空泵極限真空度都很高，最高極限真空均可達到1-2Pa，珂勒曦的干式螺桿真空泵極限真空已突破0.1Pa；無油往復(fù)真空泵為粗真空設(shè)備，極限真空度低，需要搭配羅茨等其他真空泵提高極限真空。

2、抽氣量

無油渦旋真空泵由于內(nèi)部結(jié)構(gòu)問題，抽氣量較小，只適用于小抽氣量的工藝中；干式螺桿真空泵型號齊全，可適用大抽氣量工藝中，配合羅茨真空泵可以滿足不同客戶的需求。

3、穩(wěn)定性

干式螺桿真空泵性能穩(wěn)定，噪音低，故障率低；無油往復(fù)真空泵結(jié)構(gòu)簡單，噪音較高，需要經(jīng)常更換滑片。爪式真空泵由于裝配復(fù)雜，轉(zhuǎn)子與軸不為一體，出現(xiàn)故障需全部重新拆解裝配，反復(fù)裝配從而降低產(chǎn)品性能及穩(wěn)定性。

4、特殊工況處理

由于化工、制藥、半導(dǎo)體行業(yè)等相關(guān)工藝氣中會不同程度含有易燃、易爆以及腐蝕性氣體，所以干式真空泵需要特殊處理。干式螺桿真空泵內(nèi)部結(jié)構(gòu)簡單，兩根轉(zhuǎn)子、泵腔均可做防腐處理，常見的有鎳磷涂層和特氟龍涂層，珂勒曦干式螺桿真空泵采用則是特殊的多層鍍鎳和納米材料鍍層，有效防止鹽酸等高腐蝕性介質(zhì)對設(shè)備的侵蝕。爪式真空泵很難做防腐處理，各級隔板之間幾乎無法做表面處理，轉(zhuǎn)子表面的防腐涂層也容易在裝配時損傷。無油渦旋真空泵只適合抽潔凈的氣體，不能抽取易燃、易爆及具有腐蝕性的氣體。